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淺析高溫電爐在ITO靶材燒結(jié)技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)

更新時(shí)間:2018-07-04      瀏覽次數(shù):2599

淺析高溫電爐在ITO靶材燒結(jié)技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)

高溫電爐、真空電爐在靶材燒結(jié)技術(shù)方面發(fā)揮了巨大作用,氣氛可調(diào),電爐壓力能夠調(diào),電爐控溫精度等等長(zhǎng)處,國(guó)內(nèi)有的公司選用高本錢的熱等靜壓技術(shù),該技術(shù)能夠強(qiáng)化壓制和燒結(jié)進(jìn)程,降低燒結(jié)溫度,避免晶粒增大,以取得*的物理力學(xué)性能,但存在制品出產(chǎn)本錢較高、 出產(chǎn)周期長(zhǎng),且產(chǎn)品很簡(jiǎn)單開(kāi)裂,密度低一級(jí)缺陷。

       有的選用氣氛燒結(jié)法,在燒結(jié)進(jìn)程中經(jīng)過(guò)對(duì)燒結(jié)氣氛的控制來(lái)取得高密度的ITO靶材。氣氛燒結(jié)法能大批量接連出產(chǎn),本錢較熱壓法低,設(shè)備投入也少,但對(duì)ITO粉體要求較高,還要有適宜的氣氛燒結(jié)技術(shù)。

因?yàn)樾枨筝^高氣氛壓力,在高溫下具有一定的危險(xiǎn)性,燒結(jié)本錢也較高。常壓燒結(jié)是其時(shí)日本ITO靶材燒結(jié)的干流技術(shù),也是國(guó)內(nèi)目前所竭力的方向,一些公司正在進(jìn)行這方面的實(shí)驗(yàn),還沒(méi)有公司投入實(shí)習(xí)出產(chǎn)。

整體來(lái)看,目前國(guó)內(nèi)ITO靶材出產(chǎn)通常都選用熱等靜壓或冷等靜壓+氣氛燒結(jié)的方法 ,產(chǎn)品質(zhì)量不高,未打破下游行業(yè)r FT—LCD的要求方針,產(chǎn)品只限于出產(chǎn)低端的 T N導(dǎo)電玻璃和有些STN產(chǎn)品。

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